多功能等離子清洗儀

產(chǎn)品簡介
等離子清洗儀是一種利用等離子體進行表面處理的精密設(shè)備。其核心原理是在真空或特定氣氛下，通過射頻電源激發(fā)氣體產(chǎn)生高能活性粒子，與材料表面的有機污染物發(fā)生物理轟擊和化學反應，將其分解為氣態(tài)產(chǎn)物并抽離，實現(xiàn)原子級別的“干式"清潔。該設(shè)備全程無需化學溶劑，處理過程綠色環(huán)保。

Name: 多功能等離子清洗儀MIPC1000
Brand: MicroInno
Availability: InStock

產(chǎn)品型號：MIPC1000

更新時間：2026-07-29

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：2327

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

電鏡制樣設(shè)備

MIPC1000等離子清洗儀 UFM-2000精密離子減薄儀 UFM-1000離子束切割拋光儀

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　　MIPC1000多功能等離子清洗儀，專門針對SEM/TEM等各類表面/微觀分析設(shè)備開發(fā)，能夠有效去除樣品/樣品桿表面污染物，防止碳沉積帶來圖像分辨率降低及對樣品微區(qū)成分分析造成誤判，同時可改善樣品表面親水性。該系統(tǒng)配備7英寸超大清洗樣品桿，同時清洗多個樣品，利用快旋頭設(shè)計，可滿足SEM/FIB/EPMA/SIMS/XPS/TEM等各類真空腔體清洗，提升儀器分析準確性。

　　MIPC1000多功能等離子清洗儀最多可配備四路氣體進氣系統(tǒng)，搭配高精度質(zhì)量流量計(MFC)，可實現(xiàn)任意比例氣體混合，從而實現(xiàn)不同工藝氣體清洗需求。通過配備的7英寸觸屏控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)清洗配方的建立和存儲，可實現(xiàn)一鍵完成樣品清洗。 Downstream過濾電場能夠過濾傳統(tǒng)等離子體中離子/電子成分，僅利用低能自由基進行清洗，能夠去除濺射損傷、熱效應及刻蝕效應對樣品微觀結(jié)構(gòu)和成分的破壞。滿足各類真空設(shè)備樣品/樣品艙清洗，同時可對電鏡光闌、各類真空部件進行清洗，滿足各種清洗需求。

　　技術(shù)優(yōu)勢

　　◆ 多功能：具備在線腔體清洗和獨立清洗功能；

　　◆ 高效性：ICP誘導激發(fā)，清洗范圍廣；

　　◆ 超高真空清洗：<5mTor ~ 2Tor ；

　　◆ 清洗功率范圍大：0-100W ；

　　◆ 清洗柔和：Downstream設(shè)計，無濺射效應，無熱效應；

　　◆ 可同時清洗/存儲兩根透射電鏡樣品桿；

　　◆ 擴展性好：采用快旋頭，等離子發(fā)生器，可輕松對各類真空腔體進行清洗；

　　◆ 超大清洗樣品艙：直徑7英寸X7英寸高；

　　◆ 能夠碳膜清洗，增加增加碳膜親水性；

　　◆ 觸屏控制：7英寸觸屏，配方式操作。

　　主要應用